臺式掃描電子顯微鏡的成像其實是利用細聚焦高能電子束在樣件表面激發(fā)各種物理信號，如二次電子、背散射電子等，通過相應(yīng)的檢測器來檢測這些信號，信號的強度與樣品表面形貌有一定的對應(yīng)關(guān)系，因此，可將其轉(zhuǎn)換為視頻信號來調(diào)制顯像管的亮度得到樣品表面形貌的圖像。下面我們來介紹下臺式掃描電子顯微鏡日常維護的10個要點。

　　臺式掃描電子顯微鏡的日常維護

　　1、保持儀器操作臺面整潔，不允許身體倚靠，凍水機等裝置不可放置重物；

　　2、開機時一定要先開水冷系統(tǒng),并要檢查冷卻水的溫度，關(guān)機至少15分鐘后才能關(guān)閉冷卻水；

　　3、進樣品時,檢查Z軸和T軸的位置、緩緩關(guān)閉樣品室,確保進樣倉門*關(guān)閉,才可點擊EVAC按鈕抽氣；

　　4、移動樣品，通過配合移動Stage Driver 將載物臺向X軸和Y軸方向移動，從而移動樣品，并保證小于大允許值；

　　5、傾斜樣品，-10°~+45°，要十分當(dāng)心，不要撞壞探頭。要根據(jù)樣品臺和樣品狀況選擇傾斜角度，注樣品可傾斜的大安全角度必須小于允許值，防止樣品撞傷物鏡極靴；

　　6、用BSE探頭時不可傾斜樣品臺；

　　7、樣品只有在加速電壓關(guān)閉的情況下才可取出，不作樣品掃描時要關(guān)閉高壓；

　　8、放氣時HT必須處于關(guān)閉狀態(tài)，必須等待120秒后才可輕輕拉開樣品交換倉的門；

　　9、更換鎢燈絲時， 等待兩分鐘時間，然后打開電子槍，用專門的器具取出鎢燈絲連同鎢燈絲罩，以免被燙傷；

　　10、臺式掃描電子顯微鏡需要手動調(diào)節(jié)的部分主要有光闌,象散，工作距離調(diào)節(jié)的旋鈕等，其他部件不允許調(diào)整；

　　11、每周加兩到三次液氮，兩次間隔不超過四天。